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Halbleiter: Messung der Dicke von Fotolacken

Mehrere Einzelpunkt-Tisch- und Mapping-Tools wie Filmetrics F20, Filmetrics F3-sX, Filmetrics F50 und Filmetrics F60-t messen die Dicke von Fotolacken und die ?tzrate von ein- und mehrschichtigen Fotolacken. Alle Filmetrics-Modelle messen die Fotolackdicke (und den Index) durch eine pr?zise Modellierung der spektralen Reflexion. Spezielle propriet?re Algorithmen erm?glichen eine robuste Analyse mit nur einem Klick, wobei Ergebnisse normalerweise in weniger als einer Sekunde verfügbar sind. Die Messung der Schichtdicke von SU-8, von Dow BCB und anderen dicken Fotolacken sind beliebte Anwendungen für die Filmetrics-Produktlinie.

Messung von Siliziumwafer- und Membrandicke

Die Filmetrics?-^?-Systeme umfassen Tisch-, Mapping- und Produktionssysteme zur Messung der Dicke von Siliziumscheiben und Membran. Zu den üblicherweise gemessenen Wafermaterialien z?hlen einfach oder doppelt poliertes Silizium, Saphir, Quarzglas, SiC, LiTaO₃, GaN und Glas.

Unsere technischen Experten k?nnen Ihnen helfen, das beste Filmetrics-Tool zu finden, das für Ihre Anforderunge für Schichtdickenmessung geeignet ist. Dazu geh?ren m?glicherweise verschiedene Schichtdickenbereiche, Einzelpunktmessungen, Schichtdickenmapping usw.

Flüssigkristallanzeigen (LCDs)

Messen Sie Zelllücken und die Schichtdicke von Polyimiden, Indiumzinnoxid (ITO) und transparenten leitf?higen Oxidfilmen (TCO). Die umfassende Materialbibliothek von Filmetrics und die fortschrittlichen Modellierungsalgorithmen bieten die erweiterten Funktionen, die für die Messung von LCD- und OLED-Schichten erforderlich sind.

Optische Beschichtungen und elektrooptische Filme

Messen Sie die Dicke von Hartschichten, Antireflexbeschichtungen und Filtern. Mit den spektralen Reflektivit?t und den fortschrittlichen Modellierungsalgorithmen von Filmetrics k?nnen Sie mehr als 10 Schichten effektiv modellieren.