Produktbeschreibung
Mit dem fortschrittlichen spektralen Reflexionssystem F54 lassen sich Schichtdicken von Proben mit einem Durchmesser von bis zu 450 mm schnell und einfach erfassen. Der motorisierte R-Theta-Tisch bewegt sich automatisch zu ausgew?hlten Messpunkten und liefert Schichtdickenmessungen mit einer Geschwindigkeit von bis zu zwei Punkten pro Sekunde. Autofokus und mikroskopische Messpunktgr??e sind Standardfunktionen dieses fortschrittlichen Spektralreflexionswerkzeugs.
Der F54 kann innerhalb weniger Minuten an den Laptop des Benutzers angeschlossen werden und erm?glicht so Schichtdickenmessungen mit einer Geschwindigkeit von bis zu zwei Punkten pro Sekunde. Das System enth?lt Dutzende vordefinierter polarer, rechteckiger oder linearer Kartenmuster, aber auch die M?glichkeit für Nutzer, eigene Kartenmuster mit unbegrenzten Messpunkten zu erstellen.
Produktmerkmale
- Mikroskopische Messpunktgr??e
- Integrierte Videokamera
- Autofokus (motorisierte Z-Achse)
- Intuitive Analysesoftware ist standardm??ig in jedem System enthalten –
- Telefon, E-Mail und Online-Support rund um die Uhr durch hochqualifizierte Applikationsingenieure
- Das Systempaket umfasst integrierte Spektrometer-/Lichtquelleneinheit, Mikroskopadapter, Reflexionsstandards, Schichtdickenstandards und mehr!
Anwendungen
Automatisierte Schichtdickenkartierung der meisten glatten, nichtmetallischen Filmschichten, einschlie?lich:
- SiO2
- Photoresist
- SiNx
- Polymerschichten
- DLC
- Polyimid
- Polysilizium
- Amorphes Silizium
Branchen
Halbleiterfertigung
- Fotolack, Oxide/Nitride/SOI, Wafer-Backgrinding
LCDs
- Zelllücken, Polyimid, ITO und andere TCOs
Optische Beschichtungen
- Hartschichtdicke, Antireflexionsbeschichtung, Filter
MEMS
- Fotolack
- Siliziummembranen
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