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Messung der Fotolackdicke

Mehrere Einzelpunkt-Tisch- und Mapping-Tools, darunter das F3-sX, das Filmetrics F50 und das Filmetrics F60-t, messen die Fotolackdicke und die ?tzrate von einschichtigen, mehrschichtigen und sogar freistehenden Fotolacken. Alle Filmetrics-Modelle messen die Photoresistdicke (und den Index) durch eine pr?zise Modellierung der spektralen Reflexion. Spezielle propriet?re Algorithmen erm?glichen eine robuste Analyse mit nur einem Klick, wobei Ergebnisse normalerweise in weniger als einer Sekunde verfügbar sind. Die Messung der Dicke von SU-8, Dow BCB und anderen dicken Fotolacken sind beliebte Anwendungen für die Filmetrics-Produktlinie.

Schichtdickenmessung für por?ses Silizium

Por?ses Silizium wird in vielen verschiedenen Anwendungen eingesetzt, darunter optische Ger?te, Gassensoren und biomedizinische Ger?te.

Zu den für die Industrie interessanten Messungen por?ser Schichten z?hlen Schichtdicke und Porosit?t. Im Allgemeinen werden zerst?rungsfreie Methoden wie gravimetrische Messungen verwendet, um die Porosit?t zu messen, aber die Genauigkeit dieser Methode ist sehr gering. Filmetrics^? F50 bietet einen kostenlosen, einzigartigen Analysealgorithmus, der Schichtdicke, den Index und die Porosit?t von por?sem Silizium mit einem einzigen Mausklick ermittelt.

Messung von Halbleiterprozessfilme

Die Filmetrics^?-Produktlinie bietet eine umfassende Palette von Ger?ten und Systemen zur Messung der Dicke und des Indexes von nichtmetallischen Halbleiterprozessfilme.

Das Filmetrics F50 Schichtdickenmessger?t misst die Schichtdicke genau und bildet vollfl?chige Filme automatisch Punkt für Punkt ab.

Unsere patentierte Schichtdickenbildtechnologie erm?glicht eine einfachere Einrichtung, weniger Rezepte, eine robustere Mustererkennung und wesentlich geringere Kosten als herk?mmliche Schichtdicken-Messtechnikwerkzeuge.

Messung der Siliziumscheibe und Membrandicke

Die Filmetrics^?-Systeme umfassen Tisch-, Mapping- und Produktionssysteme zur Messung der Dicke von Siliziumscheiben und Membranen. Zu den üblicherweise gemessenen Wafermaterialien z?hlen einfach oder doppelt poliertes Si (Silizium), Saphir, Quarzglas, SiC, LiTaO₃, GaN und Glas.

Unsere technischen Experten k?nnen Ihnen helfen, das beste Filmetrics-Tool zu für die Anforderungen Ihrer Schichtdickenmessung zu finden. Dazu geh?ren z. B. die Notwendigkeit verschiedener Schichtdickenbereiche oder eine Einzelpunktmessung im Vergleich zu einer Schichtdickenkartografierung usw.