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半导体：フォトレジストの厚さ测定

Filmetrics F20、Filmetrics F3-sX、Filmetrics F50、Filmetrics F60-tなどのシングルスポット卓上式システムおよび自動マッピングシステムは、単層および多層のフォトレジストの膜厚とエッチングレートを測定します。 Filmetricsのすべてのモデルは、分光反射率を正確にモデリングすることで、レジストの厚さ（および屈折率）を測定します。 独自の特殊アルゴリズムにより、堅牢な「ワンクリック」解析が可能で、通常は1秒程度で結果が得られます。SU-8、Dow BCB、およびその他の厚膜フォトレジストの膜厚測定は、Filmetricsのプロダクトラインの代表的なアプリケーションです。

シリコンウェーハおよび膜厚の测定

Filmetrics^?システムには、シリコンウェーハの厚さ测定および膜厚测定用の卓上式、マッピング式、生产用システムがあります。一般的に测定されるウェーハ材料には、片面研磨または両面研磨のシリコン、サファイア、ヒューズドシリカ、厂颈颁、尝颈罢补翱₃、骋补狈、ガラスが含まれます。

当社の技术専门家が、さまざまな膜厚范囲、シングルスポット测定、膜厚マッピングなど、膜厚测定の要件に最适な贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉ツールの选定をサポートいたします。

液晶ディスプレイ（尝颁顿）

ポリイミド、酸化インジウム錫（ITO）、透明導電性酸化物（TCO）フィルムのセルギャップと厚さを測定します。 包括的なFilmetrics材料のライブラリと高度なモデリングアルゴリズムにより、LCDおよびOLED層の測定に必要な、高度な機能を提供します。

光学コーティングおよび电気光学フィルム

等ハードコート、反射防止コーティング、フィルターの膜厚を测定します。分光反射率と贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉の高度なモデリングアルゴリズムを用いることで、10层以上の层を効果的にモデル化できます。