- ??? ?? = 300mm
- ??? ??? ? ???(WIW) ???? ?? ??? ?? ?? ??
- ?? ?? ??? ?? ?? ?? ????
- ?? PECVD ???? ?? ??
- ???? ??? ?? ?? ??? ???? ?? ??
- ?? ?? [<175°C] ?? ?? ??? ?? ?? ??? ??
?? ????
SPTS Osprey? PECVD
Advanced Packaging ?? ???? ?? ?? ?? ??
Advanced Packaging??? ?? SPTS Osprey? PECVD ???? 300mm ?? ?? ? ??? ???? ?? ?? ??? ?????. Osprey PECVD? 125°C SiN – SiO ??? ??? PECVD ??? ??? ? ???, ?? ??? ?? ?? ???? ?? ??? ???? ?? ??? ??? ?????. ?? ? ?? ??? ???? ???? ??? ? ??? ???? ?? ????? ???? PECVD ???? ?? ??? ? ?? ??? ?? ?? ??? ? ????. ??? ?? ?? ??? ? ?? ??? ??? ??? ???? ?? ??? ????? ???? ?? ? ?? ??? ???? ? ????. ???? SiO, TEOS SiO, SiCN ? ?? advanced dielectric films? hybrid bonding and inter-die gap-fill ?? ??? ??? ? ????.
- Advanced Packaging
?? ????

- SiCN for hybrid bonding
- Thick SiO for inter-die gapfill
- via reveal passivation
- Low temperature back side films with bow compensation
- Via-last TSV liner
SPTS Sigma? PVD
??? ?? ?? ???
??? ?? ??(PVD)? ??? ??? ???, ??? ?? ??? ??? ??? ???? ?? ?????. PVD?? ????, ??, ??? ?? ? ?? ??? ????. 水仙直播? ???? ??? ???? ??? ???? ???. ???? ????? "??"? ?? ???? ??????? ??? ??? ??? ?? ???? ?????. ? ???? ??? ????? ????? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ??? ?? ?? ?? ?? ????. ?? ?? ??? ??? ??? ?????. SPTS Sigma? PVD ???? ???? ??? ??? 100mm ~ 300mm??, fxP ???? ?????? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ? ?? ??? ??? ? ????.
Std PVD Module
?? ????? ??? ?? ??? ??? ??
Hi-Fill PVD Module
?? ??? ??? ?? ???? ??? ?????
Advanced Hi-Fill?(AHF) PVD Module
?? ??? ??? ???? ?? ???? ??? ??
Inspira PVD Module
BEOL ?? ???? ?? ????? ??? ?? ?? ???? UBM/RDL
Degas Options
?? ???? FOWLP ? ?? ???? ???? ?? ??? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ?? ??
Pre-Clean Options
??? ??? ?? ??(RC)? ????? ?? ?? ????
- ?? ??? ?? ??? ??? ? ??? ???? ?? ??? ??
- ?? ??? ???? ???? ?? ??
- ??? ?? ???? ?? ?? ??
- ??? ???, ???, ??? ???? ????? ??
- ?? ?? ??? “Super Uniformity”(?? ???) ?? ?? ??
- ??? ???? ?? ??(??) ?? ??? ?? ???? ?? ? ?? ?? ??? ?? ??
- ?? ???
- ??
- RF
- MEMS
- ???

Std PVD Module
Std PVD
- FO-WLP & Si UBM/RDL ?? ??
- Al ?? ?? ???
- ?? ??? ?? ??
- ?? AlN/AlScN & ??
Hi-Fill
- ?? ?? ??
- ??? ??? ???/???
Advanced Hi-Fill
- TSV ?? ???/??
- ??? ??? ???/???
Inspira
- UBM/RDL ?? ??
- ?? ??? ?? ??
SPTS Delta? PECVD
???? ?? ?? ?? ?? ???
???? ?? ?? ?? ??(PECVD)? ???? ?? ???? ???? ??? ???? ?? ??? ???? 400°C ??? ???? ??? ???? ?????. ?? ? ???? ?? ??? ???? ??? ??? ? ??? ??? ??? ? ????. SPTS Delta? PECVD ???? ?? ?? ?? ??? ??? ??????? ???? RF, ??, ???? ? MEMS ??? ???? ??????? ?????. Delta? fxP ???? ???? 80°C~400°C? ?? ??? ??? ???? ??? ??? ?? ???? ???? ?????? ?????. ?? ? ???? ??? ??? ?? ??? ?? ?? ? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ???? ?? ?? ??? ?????.
- 75mm?? 300mm??? ??? ??
- ??? ??? ? ???(WIW) ???? ?? ??? ?? ?? ??
- ?? ?? ??? ?? ?? ?? ????
- ?? PECVD ???? ?? ??
- ???? ??? ?? ?? ??? ???? ?? ??
- ??? ?? [<175°C] ?? ??? ?? ?? ??? ??
- ??? ?? ?? ??? ???? ?? ???
- RF ?? ??
- ?? ?? ??
- ???


- GaN? ?? ???, ??? ??? ?? ??? ?? SiN passivation
- Bow ??? ?? ? ?? ??, ?? ?? back side films
- MIM ???? ? GaAs ?? ??????? ?? ?? ??? SiN
- ?? ? ?? ????? ?? ??? RI ? ?? ??
- Bonding layer dielectrics
- Inter-layer dielectrics
MVD100E
R&D? ?? ?? ??(MVD?) ???
MVD100E ?? ?? ?? ???? R&D ?? ?? ??? ?? 水仙直播? ??? ?????. MVD ??? ??? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ????? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD?? ??? ?? ???, ?? ?? ?? ???? ??? ?? ???? ?? ? ?? ???? ????. MVD100E ???? ??? ??? ??? ? ???? ???? ???? ?? ???? ?? ???? ??? ? ????. ??? ?? ?????? MVD100E ???? ?? ???? ??? ? ?? ???? ??? ??????.
MEMS, ?? ???
?? ???

MVD100
- ?? ?? ?? ?? ?? ??
- 200mm ???
- ??? ?? ?? ??? ?? ??
- ?? ????? ?? ?? ?? ??
- ??? ? ? ?? ?? ??? ?? ??
- ??? ?? ?? - ???? ?? ???? ????? ??
- ???? ?? ?? ? ?? ?? ?? ??
- ???? ?? ?? ??
- ???? ?? ?? ? ??? ?? ??
- ??? ???
- MVD ? ALD ??
MVD300/300E
?? ??? ?? ?? ?? ??(MVD?) ???
MVD300? ?? ?? ?? ???(? ?? ???? ?? EFEM? ??? MVD300E ???)? ?? ???? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ??? ??? ? ???? ????? ???????. MVD ??? ??? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ????? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD? MEMS ??? ?? ?? ? ?? ?? ??? ???? ? ?? ? ?? ?? ??? ??? ? ????.
MEMS, ?? ???
?? ???

MVD300E

MVD300
- ???? ?? ???? ??? ??? ?? ??
- 200mm ???(?? ?? ?? EFEM ?? ??)
- 300mm ???(EFEM ???)
- ??? ??? ?? ??? ??
- ???? ??? ?? ??
- ??? ?? ?? ?? ?? ??
- ??? ?? ?? - ???? ?? ???? ????? ??
- ?? 4?? ???
- ???? ?? ?? ? ?? ?? ?? ??
- ???? ?? ?? ??
- ???? ?? ?? ? ??? ?? ??
- ??? ???
- MVD ? ALD ??
MVD4500
?? ? ?? ??? ?? ?? ?? ??(MVD?) ???
MVD4500 ?? ?? ?? ???? MVD ??? ?? 水仙直播? ?? ? ?? ?? ????. MVD ??? ??? ?? ???, ?? ?? ?? ???? ??? ?? ???? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ?? ????. MVD4500 ???? ?? 930 x 720mm ??? ?? ??? ??? ? ???, ??? ?? ??? ???? ALD ? MVD? ??? ? ?? ??? ?? ?? ????. ? ???? ??? ??? ??? ? ???? ???? ???? ?? ???? ?? ?? ?? ???? ??? ? ????.
MEMS, ?? ???
?? ???

MVD 4500
- ???? ?? ???? ??? ??? ?? ??
- 4.5?? ?? ?? - ??, ??? ??, ??
- ?? ?? ??? ?? ??? ???? ?? ??? ?? ?? ??
- ??? ?? ?? ??? ?? ??
- ??? ?? ?? ?? ?? ??
- ? ? ?? ??? ???? ?? ??? ??
- ???? ???? ????? GUI/??? ?? ??
- ??? ?? ?? - ???? ?? ???? ????? ??
- ?? 4?? ???
- ???? ?? ?? ? ?? ?? ?? ??
- ???? ?? ?? ??
- ???? ?? ?? ? ??? ?? ??
- ??? ???
- MVD ? ALD ??
Are you sure?
You've selected to view this site translated by Google Translate.
水仙直播 China has the same content with improved translations.
Would you like to visit 水仙直播 China instead?
您已选择查看由骋辞辞驳濒别翻译翻译的此网站。
碍尝础中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。
你想访问碍尝础中国吗?
水仙直播 ??? ?? My Access? 水仙直播 ????? ?? ?????.