水仙直播

中国

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工艺控制

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半导体工艺设备制造商使用 水仙直播 的工艺控制系统来了解工艺品质和优化工具性能。水仙直播 的工艺控制系统可在工艺和工具开发过程中使用，它可生成用于呈现、诊断和控制工艺条件的信息，从而便于设备制造商充分测量和了解其工具的性能。我们的检测、度量、现场工艺监控和化学工艺控制解决方案也可用于在发货前对工艺设备的性能进行鉴定。水仙直播 的工艺控制系统可协助设备供应商构建可靠且适合生产的工艺工具。

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工艺控制产物

水仙直播 全面的芯片制造工艺控制产物组合还支持半导体生态系统工艺工具的开发和生产。我们可为工艺设备制造商提供支持的产物包括：

  • Surfscan? 无图案晶圆检测系统
  • SensArray? 原位工艺监控解决方案
  • SpectraFilm? 薄膜计量系统
  • Axion? X 射线临界尺寸 (CD) 和形状计量系统
  • SpectraShape? 光学临界尺寸 (CD) 和形状计量系统
  • QualiSurf?、蚕耻补濒颈-尝颈苍别 Quanta?、蚕耻补濒颈-贵颈濒濒? Libra?、蚕耻补濒颈-尝颈苍别? Prima? 和 QualiLab Elite? 化学品工艺控制系统
  • 此外还有若干产物......

了解我们为半导体工艺设备制造商提供的产物，涵盖缺陷检测与复审、度量、原位工艺管理和化学工艺控制等产物类别。

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