Messsysteme für Fl?chenwiderstand
Messsysteme für Fl?chenwiderstand
Die ?berwachung des Fl?chenwiderstands ist für jede Branche von entscheidender Bedeutung, die leitf?hige Filme verwendet, von der Halbleiterherstellung bis hin zur flexiblen Elektronik, die für tragbare Technologien erforderlich ist. Die Filmetrics? R-Serie zur Messung des Fl?chenwiderstands wurde auf der Grundlage von über 45 Jahren Innovationen bei der Messung des Fl?chenwiderstands entwickelt. Seit der Einführung unseres ersten Widerstandsmessger?ts im Jahr 1975 haben wir sowohl die Fl?chenwiderstandsmessung als auch die Schichtdickenmessung für leitf?hige Schichten revolutioniert.
Filmetrics? R50-4PP Vierpunkt-Messsondensystem und Filmetrics R50-EC Wirbelstromsystem
Die kontaktbasierten Vierpunkt-Sondensysteme Filmetrics R50-4PP und die berührungslosen Wirbelstromsysteme Filmetrics R50-EC messen Metallschichtdicke, Fl?chenwiderstand, Resistivit?t und Leitf?higkeit.
Dank seines gro?en Z-Verfahrwegs eignet sich das R50-4PP ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. Das R50-EC-System eignet sich ideal zur Messung von Fl?chenwiderstand und Filmdicke auf empfindlichen und/oder flexiblen leitf?higen Oberfl?chen.
Filmetrics? R54-200 und Filmetrics R54-300 – Systeme zum Mappen von Fl?chenwiderst?nden
Die Systeme der Filmetrics?-R54-Serie bieten die Performance des Filmetrics R50 in einem lichtdichten Geh?use mit zus?tzlichen Funktionen. Lichtsensitive Halbleiter- und Verbindungshalbleiteranwendungen werden unterstützt, einschlie?lich Implantations- und Epitaxie-Wafern.
Die beiden R54 Probentischkonfiguration k?nnen Wafer von bis zu 200mm und 300mm Durchmesser aufnehmen und werden entweder als kontaktbasierte Vierpunktsonde (R54-4PP) oder als berührungslose Wirbelstromsysteme (R54-EC) konfiguriert.
Zeitleiste der Innovation
Unsere Innovationsgeschichte und unser umfangreiches Fachwissen haben zu einem breiten Portfolio an Mess- und Inspektionsl?sungen für alle Anforderungen und Umgebungen geführt. Erfahren Sie, wie alles begann – von der Einführung der Alpha-Step
Erfahren Sie, wie unsere Produkte Ihnen helfen k?nnen.
Entdecken Sie weitere L?sungen
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Instruments Gruppe
Für Branchenexperten, Akademiker und andere Innovatoren bietet 水仙直播 Instruments vertrauenswürdige Messl?sungen und Fehlerprüfung, die weltweit bahnbrechende Technologien erm?glichen.
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Filmetrics? Schichtdickenmesssysteme
Die Filmetrics?-Schichtdickenreflektometer messen Dicke und Brechungsindex transparenter Filme in Sekundenschnelle – sowohl für Labor- als auch für Produktionsumgebungen.
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Optische Profiler Filmetrics? und Zeta?
Die optischen Profilometer Filmetrics? Profilm3D? und Zeta? bieten schnelle, berührungslose L?sungen für 3D-Stufenh?hen-, Rauheits- und andere Oberfl?chentopographiemessungen. Sie nutzen Interferometer- und ZDot?-Messtechniken für F&E- sowie Produktionsumgebungen.
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